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気化フィルターを交換されたのでしょうか。

この機種の気化フィルターは、50枚のフィルターフィンがついていて、この枚数が欠けるとカタカタと音がすることがあります。

あるいは、気化フィルターのふたはお手入れの際に取り外しが可能なのですが、その閉め方が甘いと、同じような症状が出るかもしれません。あまりきつくするのも破損の原因となるのですが、一度気化フィルターのふたの閉まり具合を確認されてみるとよいかと思います。